产品特点:
| 检测对象气体:半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等)。 | |
| 功能描述 | |
| 检测气体: | 半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等) |
| 检测原理: | 热线型半导体式 |
| 采样方式: | 自动吸引式 |
| 可检测浓度: | |
| 胂 | 0.2 |
| 膦 | 0.3 |
| 硼乙烷 | 0.1 |
| 硅烷 | 0.5 |
| 氢气 | 1.0 |
| 检测表示: | 蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁 |
| 应答速度: | 10秒以内 |
| 持有证书 | |
| CE | |
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